氩气的特点常用的惰性气体是
氩气。它是一种五色无味的气体,在空气的含量为0.935%(按体积计算),氩的沸点为-186℃,介于氧和氦的沸点之间。氩是氧气厂分馏液态空气制取氧气时的副产品。 我国均采用瓶装氩气用于焊接,丙烷气体,在室温时,其充装压力为15MPa。钢瓶涂灰色漆,丙烷厂家,并标有“氩气”字样。纯氩的化学成分要求为:Ar≥99.99%;He≤0.01%;O2≤0.0015%;H2≤0.0005%;总碳量≤0.001%;水分≤30mg/m3。

2017年,我国工业新旧动能转换成效初显,工业生产超预期回升、产业结构优化升级、企业效益明显改善。2018年,随着全球半导体产业加速东移,中国电子
特种气体产业迎来历史机遇期。气体工业是国民经济基础工业之一,覆盖社会生产的各个领域,受益于国民生活,牵动着科学技术的发展。特种气体是指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气,北京丙烷,高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体是泛半导体产业制造的关键电子材料,直接关系到我国民经济发展和国家战略安全。根据气体圈子2017年统计数据显示,丙烷价格,政府各部门多次出台特种气体鼓励政策。2017年5月2日,科技部印发《“十三五”先进制造技术领域科技创新专项规划》中关键材料部分提到面向45-28-14纳米集成电路工艺,重点研发包括超高纯电子气体和其他关键材料产品。6月16日,特种气体入选国家《重点新材料首批次应用示范指导目录(2017年版)》。9月12日,保监会决定建立新材料首批次应用保险补偿机制并开展试点工作。将《重点新材料首批次应用示范指导目录》生产首批次新材料的企业作为保险补偿政策的支持对象。原则上政府补贴的责任限额不超过合同金额的5倍、且不超过5亿元,投保费率不超过3%。

电子气体(Elect ron ic gases) :半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯4 _6 m+ p- _4气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级、L S I (大规模集成电路) 级、VL S I (超大规模集成电路) 级和UL S I (特大规模集成电路)级。

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